晶圆检测仪

KLA-Tencor 2135 晶圆检测仪

KLA-Tencor 2135 是一种高duan的掩模和晶圆检测系统，具有多种先进技术和高灵敏度成像功能。以下是其详细规格参数：

1. **用途**：主要用于图案化晶圆的缺陷检测，以监控生产过程中的颗粒和缺陷，从而提高产量。

2. **晶圆尺寸**：目前配置为200毫米（8英寸）晶圆，但可以处理4英寸、5英寸和6英寸的晶圆。

3. **吞吐量**：大约为每小时8至20个晶圆。

4. **灵敏度**：能够检测大于0.25微米的像素。

5. **技术特点**：

   - 利用多种技术来检测掩模和标线上的缺陷，包括光学检查、激光扫描、电子束扫描和参数分析等。

   - 光学检查可以识别小至30纳米的特征。

   - 提供出色的动态范围图像，并使用了多种高分辨率扫描技术。